白光干涉仪

光的干涉是指从目标对象表面到某点的光距（光路）产生偏差时，所发生的现象。利用这种现象测量目标对象表面凹凸的就是光学干涉仪。右图是干涉应变计的结构图。从光源（半导体激光等）发出的光有一些透过分光镜到达参考面上，其余被反射到样本表面。透过的光经参考面反射通过光接收元件即CCD元件成像。其余被反射的光经目标对象表面反射透过分光镜，同样通过光接收元件即CCD元件成像。

事先将CCD元件与参考面间的光学距离（光路）和CCD元件与样本表面的光学距离设为等长，在CCD元件上形成的影像将反映出因样本表面凹凸导致的光路差而产生的干涉条纹。计数该干涉条纹的条数，可读取样本表面的凹凸（高度）。