测量表面粗糙度的仪器
市面上有售各种原理的测量仪器，可用作测量、分析表面粗糙度和形状的评估仪器。
以下将介绍作为接触式测量仪器代表的表面粗糙度测量计和原子力显微镜（AFM），作为非接触式测量仪器代表的白光干涉仪和激光显微系统的原理和特点。
| 方式 |
接触式 |
非接触式 |
| 测量仪器 |
接触式粗糙度测量计 |
原子力显微镜（AFM） |
白光干涉仪 |
激光
显微系统 |
| 测量分辨率 |
1nm |
< 0.01nm |
< 0.1nm |
0.1nm |
| 高度测量范围 |
至1mm |
< 10μm |
< 数mm |
< 7mm |
| 测量范围 |
数mm |
1 至200μm |
40μm至15mm |
15μm至2.7mm |
| 角度特性 |
– |
× |
△ |
○ |
| 数据分辨率 |
– |
与VGA相当 |
与VGA相当 |
与SXGA相当 |
| 确定测量位置 |
– |
选项 |
内置光学CCD |
内置光学CCD |
| 对样本的不良影响 |
接触 |
接触 |
非接触 |
非接触 |
