静电消除器的基本性能介绍
市面上存在许多工业用静电消除器。其中最首要的评价标准,就是“基本性能”。
静电消除器的“基本性能”,通常可借助“静电消除速度”、“离子平衡”,以及“维护性”来进行评价。
静电消除速度
“静电消除速度”代表的是设备能够以多快的速度、在多短的时间内消除静电的性能。在制造现场,为了避免对运行中的生产线单件产品生产时间造成影响,必须快速消除静电。用于静电消除的时间越短,性能越强。

离子平衡
“离子平衡”代表的是不带电的状态,也就是极性接近于±0 V的状态,通过除电能够多接近该状态,以及能够维持多久的除电状态,离子平衡表示的就是相应的精度。
换言之,静电消除越能使离子平衡接近0 V,静电消除精度也就是性能越高。

维护性
在制造现场,静电消除性能的降低会引发故障,进而导致单件产品生产时间延长、生产线停止、不良品流出,构成巨大的损失。因此,如何维持静电消除速度及精度,成为了重要的关键。
能否长时间维持性能,也就是省维护性的优秀与否,同样是静电消除器不可或缺的基本性能。
基本性能的评价
评价静电消除器的基本性能时,会使用被称为“静电消除监控仪(CPM:Charged Plate Monitor)”的专用测量设备。
在静电的管理方法及静电消除器使用方法等规格方面,美国的EOS/ESD规格及RCJ规格非常有名,在对照这些规格实施性能评价时,同样建议使用“静电消除监控仪”。
“静电消除监控”的原理
可以测量作为静电消除器基本性能的“静电消除速度”与“离子平衡”。对15 cm x 15 cm的金属板外加电压,在其上放置静电消除器时,监控电压的下降情况。
通常,外加到金属板上的电压值为+1000 V或−1000 V。通过确认各电压值降至1/10所需的时间,以及最终降低到多少V,可有效测定性能。
进行“静电消除监控”时,金属板的大小会影响测量结果,因此必须注意选择金属板。

- A:金属板
- B:探针
- C:绝缘体
- D:开关
- E:接地板
- F:接地
- G:衰减时间定时器
- F:非接地型电位计
- I:高电压电源供应部(过电流防止)

- A:尺寸A
- B:15 cm x 15 cm金属板
- C:绝缘体
- D:接地面
- E:接地
注)安装面的尺寸为15 cm角以上。
“便携型”静电显示器
需要轻松测量静电消除状态时,可以使用小型且兼具静电消除监控功能的“便携型”静电测量仪(静电测定器)。因其既小又便于搬运,可以简单地对制造现场安装使用的静电消除器进行定期检查。
